Pagrindinis skirtumas tarp mikro analizės ir pusiau mikro analizės yra tas, kad mikro analizė naudojama medžiagai, turinčiai mažiau nei 10 mg, analizuoti, o pusinė mikro analizė naudojama medžiagai, kurios masė yra maždaug 100–500 mg, analizuoti.
Mikro ir pusiau mikro analizė yra dvi kokybinės analizės rūšys, ty medžiagos analizė, remiantis jų savybėmis, o ne kiekiais. Mikro analizė reiškia medžiagos, kurios dalelių dydis yra mikro mastelyje, analizę. Mikro analizei galima naudoti skirtingus metodus. Kita vertus, pusiau mikro analizė yra sukurtas mikro analizės metodas.
